反応リアクタ圧力制御モジュール

 

リアクタ内圧力を所望の高真空に制御するモジュール

ユーザの要望に応じたカスタム設計が可能

u制御圧力  50 100mTorr6 ~ 13Pa

u到達真空圧力  1×10-5 Torr1.3×10-3 Pa